由於使用方法不正確或設置環境不合理，伺服馬達將容易造成變頻器誤動作及發生故障，或者無法滿足預期的運行效果。為防患於未然，事先對故障原因進行認真分析顯得尤為重要。
外部的電磁感應干擾
如果變頻器周圍存在干擾源，它們將通過輻射或電源線侵入變頻器的內部，引起控制回路誤動作，造成工作不正常或停機，嚴重時甚至損壞變頻器。提高變頻器自身的抗干擾能力固然重要，但由於受裝置成本限制，在外部采取噪聲抑制措施，消除干擾源顯得更合理、更必要。以下幾項措施是對噪聲干擾實行“三不”原則的具體方法：變頻器周圍所有繼電器、接觸器的控制線圈上需加裝防止衝擊電壓的吸收裝置，如RC吸收器；盡量縮短控制回路的配線距離，並使其與主線路分離；指定采用屏蔽線回路，須按規定進行，若線路較長，應采用合理的中繼方式；變頻器接地端子應按規定進行，不能同電焊、動力接地混用；變頻器輸入端安裝噪聲濾波器，避免由電源進線引入干擾。
安裝環境
變頻器屬於電子器件裝置，在其規格書中有詳細安裝使用環境的要求。變頻器在特殊情況下，若確實無法滿足這些要求，必須盡量采用相應抑制措施：振動是對電子器件造成機械損傷的主要原因，對於振動衝擊較大的場合，應采用橡膠等避振措施；潮濕、腐蝕性氣體及塵埃等將造成電子器件生鏽、接觸不良、絕緣降低而形成短路，作為防範措施，應對控制板進行防腐防塵處理，並采用封閉式結構；溫度是影響電子器件壽命及可靠性的重要因素，特別是半導體器件，應根據裝置要求的環境條件安裝空調或避免日光直射。
定期檢查變頻器的空氣濾清器及冷卻風扇也是非常必要的。對於特殊的高寒場合，為防止微處理器因溫度過低不能正常工作，應采取設置空間加熱器等必要措施。
電源異常
電源異常表現為各種形式，但大致分以下3種，即缺相、低電壓、停電，有時也出現它可程式控制器們的混和形式。這些異常現像的主要原因多半是輸電線路因風、雪、雷擊造成的，有時也因為同一供電系統安川變頻器內出現對地短路及相間短路。而雷擊因地域和季節有很大差異。除電壓波動外，有些電網或自行發電單位，也會出現頻率波動，並且這些現像有時在短時間內重復出現，為保證設備的正常運行，對變頻器供電電源也提出相應要求。
如果附近有直接起動電動機和電磁爐等設備，為防止這些設備投入時造成的電壓降低，應和變頻器供電系統分離，減小相互影響；對於要求瞬時停電後仍能繼續運行的場合，除選擇合適價格的變頻器外，還因預先考慮負載電機的降速比例。變頻器和外部控制回路采用瞬停補償方式，當電壓回復後，通過速度追蹤和測速電機的檢測來防止在加速中的過電流；對於要求必須量需運行的設備，要對變頻器加裝自動切換的不停電電源裝置。
二極管輸入及使用單相控制電源的變頻器，雖然在缺相狀態也能繼續工作，但整流器中個別器件電流過大及電容器的脈衝電流過大，若長期運行將對變頻器的壽命及可靠性造成不良影響，應及早檢查處理。
雷擊、感應雷電
雷擊或感應雷擊形成的衝擊電壓有時也能造成變頻器的損壞。此外，當電源系統一次側帶有真空斷路器時，短路器開閉也能產生較高的衝擊電壓。變壓器一次側真空斷路器斷開時，通過耦合在二次側形成很高的電壓衝擊尖峰。
為防止因衝擊電壓造成過電壓損壞，通常需要在變頻器的輸入端加壓敏電阻等吸收器件，保證輸入電壓不高於變頻器主回路期間所允許的安川伺服馬達最大電壓。當使用真空斷路器時，應盡量采用衝擊形成追加RC浪湧吸收器。若變壓器一次側有真空斷路器，因在控制時序上保證真空斷路器動作前先將變頻器斷開。
過去的晶體管變頻器主要有以下缺點：容易跳閘、不容易再起動、過負載能力低。由於IGBT及CPU的迅速發展，變頻器內部增加了完善的自診斷及故障防範功能，大幅度提高了變頻器的可靠性。
如果使用矢量控制變頻器中的“全領域自動轉矩補償功能”，其中“起動轉矩不足”、“環境條件變化造成出力下降”等故障原因，將得到很好的克服。該功能是利用變頻器內部的微型計算機的高速運算，計算出當前時刻所需要的轉矩，迅速對輸出電壓進行修正和補償，以抵消因外部條件變化而造成的變頻器輸出轉矩變化。
此外，由於變頻器的軟件開發更加完善，可以預先在變頻器的內部設置各種故障防止措施，並使故障化解後仍能保持繼續運行，例如：對自由停車過程中的電機進行再起動；對內部故障自動復位並保持連續運行；負載轉矩過大時能自動調整運行曲線，避免能夠對機械系統的異常轉矩進行檢測。
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